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点击返回 当前位置:首页 > 中图法 【 TN4 微电子学、集成电路(IC)】 分类索引
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- 微电子制造技术实验教程
- 王姝娅 ... [等] 编著/2015-6-1/科学出版社
本书是面向微电子及相关专业的试验教程,以微电子器件制造过程为主线,重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和试验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础试验,详细阐述各项单步工艺的试验原理、试验设备、试验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的物理性
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定价:¥29 ISBN:9787030444943
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