本书以自行研制的先进光电微纳检测技术及信号调制与图像处理系统为基础，开展6个光电微纳检测实验：①数字波面干涉仪检测平面镜面形；②偏振干涉图像调节及处理与系统误差标定；③数字波面干涉仪球面面形检测；④单幅干涉图相位恢复实验；⑤非球面光学性质及通用化检测；⑥非球面高精度零位干涉检测。通过实验，使学生深刻理解光机电算一体化检测系统“以光学原理为核心、电路控制为辅助、计算机及软件技术做提升”的特点，掌握光电干涉检测系统的调整和实验方法。