本书系统论述了纳米功能薄膜的基本概念和内涵、典型制备工艺、功能特性的物理基础、典型体系及其应用，也介绍了该领域最新的研究进展和前沿动态。全书共分为7章：概论；纳米薄膜的制备工艺；纳米薄膜性能的物理基础；金属及半金属基纳米薄膜；金属氧化物纳米薄膜；聚合物基纳米薄膜；纳米薄膜的典型应用。