本书是集成电路领域本科教育教学改革试点工作（简称“101”计划）系列教材之一。全书分为三个部分共9章，分别是第一部分集成电路可靠性基础，介绍了可靠性数学基础、失效机理等；第二部分集成电路可靠性设计，包括集成电路可靠性设计基础、集成电路可靠性仿真方法及集成电路可靠性的工艺保证等内容；第三部分集成电路可靠性评价，全面介绍集成电路失效分析、集成电路可靠性试验和集成电路可靠性评价等。本书适用于电子科学与技术及集成电路科学与工程一级学科的集成电路设计与集成系统、微电子科学与工程等电子信息大类本科专业教材，也可作为相关工程技术人员的参考书。