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点击返回 当前位置:首页 > 中图法 【 TN4 微电子学、集成电路(IC)】 分类索引
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- 微电子制造科学原理与工程技术
- (美) 斯蒂芬·A. 坎贝尔著/2023-1-1/电子工业出版社
本书对微纳制造技术的各个领域都给出了一个全面透彻的介绍,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺,不仅介绍了它的物理和化学原理,还描述了用于集成电路制造的工艺设备。本书新增了制作纳米集成电路及其他半导体
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定价:¥159 ISBN:9787121447464
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